x荧光光谱检测仪由激发源(X射线管)和探测系统构成。X射线管产生入射X射线(一次X射线)，激发被测样品，产生X荧光(二次X射线)，探测器对X荧光进行检测。
主要用途：
x荧光光谱检测仪根据各元素的特征X射线的强度，可以测定元素含量。
近年来，X荧光光谱分析在各行业应用范围不断拓展，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域，特别是在RoHS检测领域应用得最多也*泛。
大多数分析元素均可用其进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围为Be到U。并且具有分析速度快、测量范围宽、干扰小的特点。
x荧光光谱检测仪优点：
a)分析速度快。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，10~300秒就可以测完样品中的全部待测元素。
b)X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。(气体密封在容器内也可分析)但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定。
c)非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
d)X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。
e)分析精密度高。目前含量测定已经达到ppm级别。
f)制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
